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| 薄膜光传感器阵列 |
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| 日本防卫大学采用半绝缘性Pb2GrO5薄膜研制开发出一种薄膜光传感器阵列。该薄膜是利用电子束蒸镇新工艺,在玻璃基片上形成的。该阵列是在对公用电极加直流电压的状态下进行工作的。每个电极中流通的信号电流由带放大器的电流电压转换电路检出。光源采用红色的He-Ne激光。已制成了一种由8个光传感器组成的阵列,其一致性非常好,灵敏度偏差仅在15%以内。由于在制造过程中,不用特殊的技术来分离各元件间信号,所以该阵列特别适合于集成化。薄膜光传感器阵列 |
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