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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
位置敏感探测器(PSD)的进展
  
DOI:
中文关键词:  位置探测器,Si探测器,技术数据
英文关键词:
基金项目:
曹向群  鲍超  顾瑾
浙江大学光科系!杭州,310027,浙江大学光科系!杭州,310027,浙江大学光科系!杭州,310027
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中文摘要:
      阐述了PSD的主要特性及其进展,文中的商业产品参数,来自于1997年日本滨松光子学公司的一维和二维PSD的技术数据.PSD的研制品中介绍了非晶硅薄膜PSD结构和主要光学、电学特性;介绍了多条形PSD结构及位置分辨率等性能指标;最后还叙述了大面积H维PSD及MOS型一维PSD等的性能和参数。
英文摘要:
      
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