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| 位置敏感探测器(PSD)的进展 |
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| DOI: |
| 中文关键词: 位置探测器,Si探测器,技术数据 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| 曹向群 鲍超 顾瑾 |
| 浙江大学光科系!杭州,310027,浙江大学光科系!杭州,310027,浙江大学光科系!杭州,310027 |
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| 中文摘要: |
| 阐述了PSD的主要特性及其进展,文中的商业产品参数,来自于1997年日本滨松光子学公司的一维和二维PSD的技术数据.PSD的研制品中介绍了非晶硅薄膜PSD结构和主要光学、电学特性;介绍了多条形PSD结构及位置分辨率等性能指标;最后还叙述了大面积H维PSD及MOS型一维PSD等的性能和参数。 |
| 英文摘要: |
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