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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
基于原子晶格为参照标度的纳米计量技术
A Metering Technique Based on Crystal Lattice as Reference Standard
  
DOI:
中文关键词:  纳米计量,原子晶格
英文关键词:Nanometer Metering, Atom Crystal Lattice
基金项目:国家自然科学基金,省自然科学基金
黄峰  章海军
浙江大学光科系!杭州,310027,浙江大学光科系!杭州,310027
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中文摘要:
      纳米检测和纳米计量是一项正在发展的科学技术,文中介绍了利用双探头扫描隧道显微镜与原子力显微镜系统,作纳米计量的技术。
英文摘要:
      Nanometer testing and metering is a developing scientific technique. A nanometer metering technique using double-probe scanning microscope and atom force microscope is introduced.
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