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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
离子束刻蚀计量光栅的衍射现象
The Diffractive Phenomenon of the Metrologcal Grating Etched by Ion
  
DOI:
中文关键词:  离子束刻蚀,计量光栅,衍射
英文关键词:Diffractive, Phenomenon, Metrologcal Grating,
基金项目:现代光学仪器国家重点实验室开放课题
陈洪璆  林野  曹向群
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室!杭州,310027,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室!杭州,310027,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室!杭州,310027
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中文摘要:
      介绍了计量光栅经离子束刻蚀后的衍射现象,实测了刻蚀表面的形貌特征,还对这种衍射现象进行了讨论。
英文摘要:
      This paper introduces and analyses the diffractive phenomenon of the metrologcal grating etched by ion beam,furthermore,it surveys the feature of etched surface of the grating. Physics of the diffractive phenomenon also is discussed.
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