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| 纳米级光电综合测长仪 |
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| 北京光电量仪研究中心承担的科研项目——纳米级光电综合测长仪,不久前通过了由机械工业技术发展基金委员会组织的技术鉴定。本课题采用自行开发的超精细计量光栅为敏感元件的纳米测量方法,形成了一整套完整的超精细光栅测量技术。纳米级光电综合测长仪的研究成果表明,我国成功地发展了纳米测量技术的一种新途径、新方法,即以超精细计量光栅为敏感元件的纳米测量方法,与国际上已有的纳米测量技术相比,具有更为简单方便、稳定可靠、经济实用的特色。据专家们分析,纳米技术是本世纪末下世纪初的重大新领域,它将引起加工技术、信息技术… |
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