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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
测量光学元件表面粗糙度的取样问题
The Sample Problem of the Optical Surface Roughness Measure
  
DOI:
中文关键词:  表面粗糙度,取样区,疵病
英文关键词:Surface Roughness, Sample Area, Flaw
基金项目:
沈卫星  徐德衍
中科院上海光学精密机械研究所!201800,上海嘉定,中科院上海光学精密机械研究所!201800,上海嘉定
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中文摘要:
      根据统计规律,通过对在ZYGOMaxim·3D5700非接触表面轮廓议上测试的6种光学元件表面大量的rms(root-mean-square)数据分析的基础上,认为,在未引入“大”疵病的前提下,被测表面按口径大小和光滑程度取一定的采样区域数就足以表征整个表面的粗糙程度,无需因采样区域数偏少怀疑结果的代表性而添加许多测试区域数。为了反映光学元件整个表面轮廓起伏程度,作者推荐测试结果以rms±σ表征为宜。
英文摘要:
      
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