|
| 测量光学元件表面粗糙度的取样问题 |
| The Sample Problem of the Optical Surface Roughness Measure |
| |
| DOI: |
| 中文关键词: 表面粗糙度,取样区,疵病 |
| 英文关键词:Surface Roughness, Sample Area, Flaw |
| 基金项目: |
| 沈卫星 徐德衍 |
| 中科院上海光学精密机械研究所!201800,上海嘉定,中科院上海光学精密机械研究所!201800,上海嘉定 |
| 摘要点击次数: 2808 |
| 全文下载次数: 12 |
| 中文摘要: |
| 根据统计规律,通过对在ZYGOMaxim·3D5700非接触表面轮廓议上测试的6种光学元件表面大量的rms(root-mean-square)数据分析的基础上,认为,在未引入“大”疵病的前提下,被测表面按口径大小和光滑程度取一定的采样区域数就足以表征整个表面的粗糙程度,无需因采样区域数偏少怀疑结果的代表性而添加许多测试区域数。为了反映光学元件整个表面轮廓起伏程度,作者推荐测试结果以rms±σ表征为宜。 |
| 英文摘要: |
| |
| HTML 查看全文 查看/发表评论 下载PDF阅读器 |
| 关闭 |
|
|
|