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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
金刚石红外增透保护膜的研制及特性拟合
Fabrication and Simulation of Diamond Infrared Anti-reflection Protection Thin Films
  
DOI:
中文关键词:  金刚石红外增透保护薄膜
英文关键词:Diamond Infrared Anti-reflection Protection Thin Films
基金项目:
褚沉  王辉
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中文摘要:
      论述了在硅基板上用热灯丝法制备金刚石红外增透保护膜的工艺,通过多灯丝法、预打磨处理以及加偏压等方法得到了特性优良的金刚石薄膜,并利用对金刚石薄膜─硅板体系红外透射率的曲线拟合,推知了一系列不易直接测量的特性参数,如折射率,吸收系数,薄膜厚度等。
英文摘要:
      The technology of fabricating diamond infrared anti-reflection protection thin films on St substrates by HF CVD is presented in this paper. Using multifilament, prescrach and adding a bias,we got the diamond thin films with excellent properties. Through the simulation on the transmittance-wavelength curve of our sample,we got a serie of characteristric parameters which are not easy to measure directly,such as refraction index,absorptance and the thickness of the thin film.
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