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| 激光分子束外延设备 |
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| 中文摘要: |
| 我国科研人员自行设计、研制的第一台激光分子束外延设备已在中科院物理研究所建成。据了解,目前世界上只有日本、法国等少数几个国家拥有这种设备。该设备采用的激光分子来外延技术,结合了传统分子束外延和激光沉淀技术的优点,适合制备高熔点薄膜、氧化物超导体薄膜及光学晶体薄膜等薄膜材料。为建立我国自己的分子束外延系统,国家自然科学基金委员会于1994年设立了“激光分子束外延机理及关键技术研究”的重点项目。在有关方面配合下,设计制作我国第一台激光束外延设备,并首次利用该设备生产出了光学薄膜和超导薄膜。有关专家认为,… |
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