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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
双焦干涉球面轮廓仪机构分析
Mechanism Design of the Double Focus Interference Spherical Profiler
  
DOI:
中文关键词:  双焦干涉,轮廓仪,球面测试
英文关键词:Double Interference,Profiler,Spherical Test
基金项目:
徐敏  卓永模
浙江大学光科系!310027,杭州,浙江大学光科系!310027,杭州,浙江大学光科系!310027,杭州
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中文摘要:
      介绍了双焦干涉球面微观轮廓仪的总体设计,对议器结构的核心部分:扫描工作台和调焦系统的设计作了详细的分析并通过不同R的球面进行了实测示例。
英文摘要:
      This paper introduces a general mechenism design of the double focus interfer-ence spherical profiler. Thescanning table and the focus system is analysed in detail. Sometesting was given by measuring different radius spherical surface.
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