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| 双焦干涉球面轮廓仪机构分析 |
| Mechanism Design of the Double Focus Interference Spherical Profiler |
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| DOI: |
| 中文关键词: 双焦干涉,轮廓仪,球面测试 |
| 英文关键词:Double Interference,Profiler,Spherical Test |
| 基金项目: |
| 徐敏 卓永模 |
| 浙江大学光科系!310027,杭州,浙江大学光科系!310027,杭州,浙江大学光科系!310027,杭州 |
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| 中文摘要: |
| 介绍了双焦干涉球面微观轮廓仪的总体设计,对议器结构的核心部分:扫描工作台和调焦系统的设计作了详细的分析并通过不同R的球面进行了实测示例。 |
| 英文摘要: |
| This paper introduces a general mechenism design of the double focus interfer-ence spherical profiler. Thescanning table and the focus system is analysed in detail. Sometesting was given by measuring different radius spherical surface. |
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