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| 光学元件的疵病检验与研究现状 |
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| DOI: |
| 中文关键词: 表面疵病,划痕,凹坑,等效线宽 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| 戴名奎 徐德衍 |
| 中国科学院上海光学精密机械研究所!上海,201800,中国科学院上海光学精密机械研究所!上海,201800 |
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| 中文摘要: |
| “光学零件表面疵病”曾在国家标准GB1031-68及GB1185-89中做过专门描述。研究发现,这些标准与国际上一些国家的相关标准及测试方法相差较大,而最近国际光学委员会推荐的一个不同用途光学元件的疵病指标值得注意[1]。本文在介绍了一些国外标准的基础上,侧重分类描述了当今世界上具有代表性的疵病检验方法、原理及各自的特点,旨在为我国光学界同行在应用、研究及制定相关标准时参考。文后作者提出了在光学元件的疵病检验和标准制定方面的一些粗浅看法。 |
| 英文摘要: |
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