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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
一种光学两细分的方法
  
DOI:
中文关键词:  光学细分,测量,传感器
英文关键词:
基金项目:
朱赛云  侯尔志
萧山市标准计量局!萧山,311200,萧山双飞集团公司!萧山,311200
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中文摘要:
      目前,在长度测量中,对分辨率的要求越来越高。这里介绍的一种线位移传感器具有较高的准确度和分辨率,其优点是采用了光学两细分。从LED发出的光经扫描板后主要衍射为-1,0,+1级,这三束光遇到主光栅──反射相位光栅后,被衍射成+1级和-1级。相位光栅移动一个周期时,其±1级衍射光均发生了360°相移,+1级和-1教相移符号相反。这两束光经批描板上指示光栅时又一次衍射,同方向衍射光产生干涉,这三束干涉光经三个电池接收后,光强度转化为电信号,电信号的周期只有光栅周期的一半。
英文摘要:
      
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