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| 一种光学两细分的方法 |
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| DOI: |
| 中文关键词: 光学细分,测量,传感器 |
| 英文关键词: |
| 基金项目: |
| 朱赛云 侯尔志 |
| 萧山市标准计量局!萧山,311200,萧山双飞集团公司!萧山,311200 |
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| 中文摘要: |
| 目前,在长度测量中,对分辨率的要求越来越高。这里介绍的一种线位移传感器具有较高的准确度和分辨率,其优点是采用了光学两细分。从LED发出的光经扫描板后主要衍射为-1,0,+1级,这三束光遇到主光栅──反射相位光栅后,被衍射成+1级和-1级。相位光栅移动一个周期时,其±1级衍射光均发生了360°相移,+1级和-1教相移符号相反。这两束光经批描板上指示光栅时又一次衍射,同方向衍射光产生干涉,这三束干涉光经三个电池接收后,光强度转化为电信号,电信号的周期只有光栅周期的一半。 |
| 英文摘要: |
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