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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
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  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
微系统技术与微光学的发展
  
DOI:
中文关键词:  微系统,微光学
英文关键词:
基金项目:
杨国光
浙江大学高技术现代光学中心!杭州,310027
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中文摘要:
      微系统(Microsystems)是指将尺寸在微米级的功能器件与微电子器件(LSI)集成在一块基板上的系统。此系统不仅具有处理、计算功能更具有信息输入,传感以及动作执行,检测等功能。因此,微系统是发展新一代计算、先进机器人、智能化系统的核心技术。一个以微系统技术为核心的工业──微细工业,这包括微传感器(Microsensors)、微执行器(Microactuators)、微机械(Micromachining)、微电器(Microelectronics)、激光学(Microoptics)以及微加工(Microfabrication),将成为新兴工业而取代若干传统工业,最终实现机电产品及仪器仪表工业中的集成化、微型化及经济化。微系统科学是将工业科学从宏观引入微观世界的关键,是21世纪科学与工业发展的必然趋势之一。本文从微系统的发展背景开始,阐述了做系统及激光学包括新兴的二元光学(Binaryoptics)的形成与发展,指出早于1965年美国Stanford大学首先从事微结构(Microstratures)研究,完成了脑微电极探针,70年代美国DARPA(先进防御研究计划)将LSI推向1μm的水平,1981年美国NSF(国家科学基金)将原价6万美元的不同驱动源做在一个仅需几百美元的掩模上,从而有了做系统的开端。本文接着分析了微系统的共同技术特点,指出微系统除尺寸小、功
英文摘要:
      
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