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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
表面微粗糙度椭偏法的测定
  
DOI:
中文关键词:  椭偏技术,微粗糙度
英文关键词:
基金项目:
陈大好  刘旭  顾培夫
浙江大学光科系!杭州,310027,浙江大学光科系!杭州,310027,浙江大学光科系!杭州,310027
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中文摘要:
      叙述了一种用椭偏技术快速测量表面微粗糙度的方法,推导了在单层膜模型下微粗糙表面的反射特性,给出了根据椭偏测量所得位相差△值估算均方根粗糙度的公式以及对两种不同微粗糙度表面测量的结果。
英文摘要:
      
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