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| XeCl激光与铜蒸气激光诱导硅中掺硼的比较 |
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| DOI: |
| 中文关键词: XeCl激光,铜蒸气激光,诱导掺杂 |
| 英文关键词: |
| 基金项目:国家自然科学基金 |
| 钱育军 潘佰良 |
| 浙江大学物理系!杭州,310027,浙江大学物理系!杭州,310027 |
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| 中文摘要: |
| 讨论了XeCl激光和铜蒸气激光(CVL)诱导硅中掺硼的实验比较结果。CVL诱导掺硼是首次由本课题完成的。激光掺杂之P-N结结深可小于0.2μm,表面硼浓度大于1021cm-3。CVL激光掺杂制成的太阳能电池最高光电效率比XeCl激光高8%,表明CVL激光在激光诱导掺杂中具有明显优势。 |
| 英文摘要: |
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