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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
精密可控工作台的实验研究
Experimental Research on Precision Controllable Worktable
  
DOI:
中文关键词:  工作台,光学刻尺,CCD器件,压电晶体
英文关键词:Worktable, Optical Scale CCD, Piezocrystal
基金项目:
张思祥  杨国光
天津大学精密仪器系!300072天津(张思祥)
,浙江大学光科系!310027杭州(杨国光)
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中文摘要:
      实验探讨和研究了精密可控工作台的位移测量系统,计算机控制系统和微位移系统。实现了传统光学到尺数字化,使具有0.5mm刻度值的标准刻尺达到了1μm的分辨率和2μm的测量精度,并成功地用于精密可控工作台的位移实时测量,具有一定的实用价值。
英文摘要:
      In this paper the displacement measuring system,computer control system and microdisplacement system are researched. One micrometer resolution and 2 micrometers measuring standard scale were achieved. The real time displacement measuring of precision controllable worktable was also successfully completed.
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