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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
基于光点偏转方法的原子力显微镜的研制
Atomic Force Microscope Based in Optical Bean Deflection Method
  
DOI:
中文关键词:  原子力显微镜,光点偏转法,微悬臂,微位移
英文关键词:AFM, Cantilever, Micro-displacement
基金项目:国家自然科学基金,中国博士后科学基金
章海军  黄文浩
中国科技大学精密机械与精密仪器系!安徽合肥,230026,中国科技大学精密机械与精密仪器系!安徽合肥,230026
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中文摘要:
      讨论了光点偏转方法检测微小位移的原理,建立了相应的光电检测系统,用于检测微悬臂(针尖)的微位移,并在此基础上研制了纳米级分辨率的原子力显微镜。仪器最大扫描范围可达2×2μm2。文中给出了部分样品的测试结果。
英文摘要:
      
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