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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
CDMS—1型电视线宽测量仪总体设计
  
DOI:
中文关键词:  线宽测量,光学仪器,计量仪器
英文关键词:Linewidth Measurement, Optical Instruments, Metrology Instruments
基金项目:
沈蓓军  邹海兴
上海光学精密机械研究所,上海光学精密机械研究所 201800 上海嘉定,201800 上海嘉定
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中文摘要:
      从光学线宽测量光强阈值理论、总体方案、精度分析计算等方面介绍了CDMS—1型电视线宽测量仪的总体设计。
英文摘要:
      The Paper describes the system design of Model CDMS-I Video Scanning Lincwidth Measurement System in optical linewidth measurement theory, scheme, precision analysis and calculation.
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