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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
激光干涉计量中非线性误差的分析计算
Analysis and Calculation of Nonlincarity Error in Laser Interferometric Metrology
  
DOI:
中文关键词:  激光,干涉计量,误差
英文关键词:Laser, Interferometric Metrology, Error
基金项目:
包学诚  钱胤
上海交通大学,上海交通大学,上海光学仪器研究所 200030 上海华山路1954号,200030 上海华山路1954号,200093 上海长岭路115号
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中文摘要:
      简要论述了激光干涉计量中由于偏振光学元件引起的非线性误差对测量精度的影响,导出了计算公式,并给出计算实例。
英文摘要:
      Briefly described in this paper are the nonlinearity errors caused by optical polarized elements in laser interferomeric metrology and their influence on the precision. The calculation formula are also given.
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