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| 激光干涉计量中非线性误差的分析计算 |
| Analysis and Calculation of Nonlincarity Error in Laser Interferometric Metrology |
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| DOI: |
| 中文关键词: 激光,干涉计量,误差 |
| 英文关键词:Laser, Interferometric Metrology, Error |
| 基金项目: |
| 包学诚 钱胤 |
| 上海交通大学,上海交通大学,上海光学仪器研究所 200030 上海华山路1954号,200030 上海华山路1954号,200093 上海长岭路115号 |
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| 中文摘要: |
| 简要论述了激光干涉计量中由于偏振光学元件引起的非线性误差对测量精度的影响,导出了计算公式,并给出计算实例。 |
| 英文摘要: |
| Briefly described in this paper are the nonlinearity errors caused by optical polarized elements in laser interferomeric metrology and their influence on the precision. The calculation formula are also given. |
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