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| 相干计量技术评述 |
| The Summary of Interferometric Metrology |
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| DOI: |
| 中文关键词: 相干技术,干涉仪,检测 |
| 英文关键词:Interferometry, Interferometer, Testing., |
| 基金项目: |
| 包正康 |
| 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 310027 |
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| 中文摘要: |
| 综述了相干计量技术在测长、光学波面误差检测、表面粗糙度测量中的应用,目前的状况及未来的发展趋势。 |
| 英文摘要: |
| This paper presents an overview of the interferometry applied in length measurement, optical wavefront tasting and surface roughness measurement, and gives a brief introduction of its current situation and developing prospects. |
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