用户登录
期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
相干计量技术评述
The Summary of Interferometric Metrology
  
DOI:
中文关键词:  相干技术,干涉仪,检测
英文关键词:Interferometry, Interferometer, Testing.,
基金项目:
包正康
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 310027
摘要点击次数: 2073
全文下载次数: 29
中文摘要:
      综述了相干计量技术在测长、光学波面误差检测、表面粗糙度测量中的应用,目前的状况及未来的发展趋势。
英文摘要:
      This paper presents an overview of the interferometry applied in length measurement, optical wavefront tasting and surface roughness measurement, and gives a brief introduction of its current situation and developing prospects.
HTML   查看全文  查看/发表评论  下载PDF阅读器
关闭