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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
尼康开发变形光源新技术
  
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中文摘要:
      日本尼康公司不久前开发成功一种变形光源技术,以提高逐渐缩小式曝光装置的成像清晰度。这种新技术称作“SHRINC”,实际上是通过控制曝光装置的光源照明来实现超高清晰度的技术。目前曝光装置由于多层电路构造,集成化程度越高,表面段差就越显著。因此,人们都在努力研制利用64兆位动态随机存取存储器(DRAM)的曝光分色镜头。尼康公司已经利用这种新技术生产了i线(波长0.356μm)逐渐缩小式曝光装置。在线幅
英文摘要:
      
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