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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
软X射线多层膜技术的研究
  
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中文摘要:
      由中科院长春光机所承担的软X射线多层膜技术的研究课题,于最近通过了技术鉴定。课题组在光学常数、模系设计理论、离子束溅射镀膜设备研制、镀膜工艺、膜系周期结构和反射率测试等方面做了大量研究、试验工作。制备的多层膜元件反射率在20纳米以上波段达到20%以上,12.5~20纳米波段达到40%以上,并在X射线激光研究和软X射线单色器中得到应用。参加鉴定会的光学专家们认为,该成果从设计理论、制备技术到测试均具系统性,并有
英文摘要:
      
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