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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
国内动态
  
DOI:
中文关键词:  
英文关键词:
基金项目:
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中文摘要:
      主要围绕微电子领域中光学技术开展应用基础研究的“微细加工光学技术国家开放实验室”,于去年四月在中科院光电所正式成立并启动。该实验室是世界银行贷款立项建设项目之一。计划于三年内正式建成交付国家和世界银行验收。根据世界银行的重点学科发展项目的要求,近期的主要研究方向有:亚微米光刻光学技术、双频激光超精定位技术、实时光电对准原理与方法、准分子光刻技术、微细图形检测及
英文摘要:
      
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