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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
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中文摘要:
      上海光学仪器研究所制研成功并通过鉴定的扫描隧道显微测量仪,系上海市科委技术发展基金项目。它是一种应用隧道电流效应对工业部门中超级计量表面(如超光洁度的金属表面、光栅刻划槽形、微电子半导体技术等)的微观结构与表面形貌进行研究的仪器。由于它具有原子直径尺度的惊人分辨率,故广泛用于材料结构、表面物理、化学、生物学、超级计量学和微电子学等领域。该仪器经复旦大学材料系和上海计量技术研究所使用,一致认为:①仪器为工业部门
英文摘要:
      
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