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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
用于相位检测的电视图象处理技术
  
DOI:
中文关键词:  相位  检测  电视  图象处理  光学干涉
英文关键词:
基金项目:
周恕义  金国藩
清华大学,清华大学,清华大学
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中文摘要:
      光学干涉计量与电视图象处理技术结合具有测量精度高和实时性好的优点。文章讨论了光学干涉计量的干涉图解析法和辅助位相扫描法,介绍了电视图象处理技术。最后给出了新近研制的用于表面槽深检测的系统实例。仪器测试精度优于2nm,测试时间(以10次采样计)小于1分钟。
英文摘要:
      
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