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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
200毫米*200毫米高精度格网基准板的研制
  
DOI:
中文关键词:  激光干涉  测长系统  格网基准板
英文关键词:
基金项目:
金文Dun  项丽萍
江南光学仪器厂,江南光学仪器厂
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中文摘要:
      本文详细介绍了200毫米×200毫米高精度格网基准板的制作工艺。在研制过程中,采用了激光测长技术,光电瞄准和准直技术,大面积平板玻璃研磨、镀铬及刻腐技术。使格网基准板的点位误差(即平面座标点的综合位置误差)经中国计量科学研究院检测已达2微米,达到目前国内先进水平。本文还对格网基准板的误差进行了分析。
英文摘要:
      
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