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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
应用新光源,国产光致抗蚀剂,光刻高精度长光栅
  
DOI:
中文关键词:  光致抗蚀剂  光栅  光栅测长仪  光源
英文关键词:
基金项目:
陆翡翠  马品仲
中国科学院南京天文仪器厂,中国科学院南京天文仪器厂
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中文摘要:
      本文叙述了多功能光栅测长仪光栅尺的光刻工艺,文中就采用新冷光源,选择负性光致抗蚀剂,获得高精度、高反差,低反射黑铬光栅线及有关技术问题等进行了讨论。
英文摘要:
      
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