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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
BPJ型电视硅片图形缺陷检查仪
  
DOI:
中文关键词:  
英文关键词:
基金项目:
鲁徐青
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中文摘要:
      由上海光学仪器确究所设计、研制的BPJ型电视硅片图形缺陷检查仪,于1987年7月通过部级鉴定。该仪器主要用于半导体流水线中检查硅片每道光刻的图形质量。仪器由硅片台和检查显微镜两大部分组成。输片装置上片盒中的硅片逐片自动地送到预定位台,经机械手传送到承片台上,然后进行五点法自动检查(亦可用手动逐点检查),同
英文摘要:
      
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