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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
多功能干涉测量装置及其应用
  
DOI:
中文关键词:  
英文关键词:
基金项目:
周长新
中国科学院长春光学精密机械研究所
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中文摘要:
      根据三种基本类型的多光束干涉条纹形成原理,设计与制造了多功能干涉测量装置。该装置是借助于光学与机械结构的变换与组合,使之变换成多种型式的干涉仪,分别用于多种精密测量:测量微位移、微幅振动、薄膜厚度、表面粗糙度、光学零件的面形,角度以及分析激光器的模谱精细结构,
英文摘要:
      
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