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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
日本研制出光子显微镜
  
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中文摘要:
      据日刊《工业新闻》报道,日本日立公司最近在世界上首次成功地研制出一种“光子显微镜”,其原理是让光点在半导体芯片表面扫描,由于芯片的表面晶格缺陷、污染及损伤部位受光照射时产生的表面光电压低于正常部位,故可以非接触形式读出其变化,然后经数字
英文摘要:
      
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