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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
光学薄膜向XUV区的扩展
  
DOI:
中文关键词:  
英文关键词:
基金项目:
沈元华
复旦大学
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中文摘要:
      近年来,软X光区和极远紫外区(统称XUV区)的工作有了迅速的发展,与此相应,光学薄膜技术也扩展到了XUV区。本文回顾了XUV区薄膜技术的发展,综述了高反膜、滤光膜、偏振膜等的设计、特性和应用,也介绍了作者自己在这方面的工作。
英文摘要:
      
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