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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
数字图像处理原理在光刻自动对准技术中的应用
  
DOI:
中文关键词:  
英文关键词:
基金项目:
曾佳斌  余中如
浙江大学,浙江大学
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中文摘要:
      本文介绍一种用于DSW投影光刻机的电视扫描同轴对准装置及数字信号处理方法。装置采用电视摄象机作为图像信息传感器,模拟量积分压缩数字量,微处理机精确计算硅片和模版的偏移量并控制工作台作微小调整。该装置已具有刻出1.2μ宽线条所需的±0.3μ对准精度。
英文摘要:
      
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