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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
椭园偏振仪的瞬时测量
  
DOI:
中文关键词:  
英文关键词:
基金项目:
丁岳亭
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中文摘要:
      一、导言椭园偏振仪是当前研究薄膜表面现象的一种新方法。在半导体器件领域它研究Si—SiO_2及GaAs等材料的参数;在金属抗腐蚀学方面,研究镍基底、铁基底的生成物变化情况;在光学薄膜领域研究透明基底的介质膜的n、d测量,以及金属膜的N=n-ik的测量。也有研究各种薄膜在VUV及IR光谱范围的椭偏参数的报导。大多数旋转检偏器椭圆偏振仪系统都可以达到较高的精度,测量表面薄膜的有效平均厚度约为~0.01数量级。为了研究和控制瞬变的表面现象,需进行动态测量。这时,有效测
英文摘要:
      
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