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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
扫描式投影光刻机的扫描畸变及其调整
  
DOI:
中文关键词:  
英文关键词:
基金项目:
张维新
上海光机所试制工厂
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中文摘要:
      本文介绍了绕定轴摆动扫描式投影光刻机扫描畸变的概念、产生原因和类型。在TGK75A型样机具体结构的基础上论述了扫描畸变调整补偿原理,并计算了调整机构的调整灵敏度。叙述了检调工具和方法步骤。列出扫描畸变判断调整程序表供读者参考。
英文摘要:
      
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