| 本文主要是论述多层减反射膜的设计方法、制造与应用效果。在膜系设计中既要考虑减反效果又要考虑工艺简便,故采用四分之一波长整数倍膜系。膜系层数尽量少(三层到六层),就能使折射率从1.48至1.755的各种光学镜头的一个表面反射损失从3.75%—7.53%降低到0.35%以下。减反射光谱带宽可达到整个可见光谱区或从近紫外到近红外光谱区。因此这种膜系不仅对可见光谱区具有很好的使用价值,而且对各种倍频激光中消除杂光的干扰效果也非常显著。在设计中也考虑到恶劣环境中的使用,选用高熔点的氧化物与氟化物膜料。故膜层机械强度、化学稳定性与光学性能非常好。由于膜系设计考虑周到、镀制成品率很高、已经成批生产。在变形宽银幕放映机、电影洗片、照相复印机、高精度光刻机等光学系统中使用,证明效果非常显著。 |