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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
激光扫描技术在小尺寸测量方面的应用
  
DOI:
中文关键词:  
英文关键词:
基金项目:
戚元燧  汪麟祥
华中工学院,华中工学院
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中文摘要:
      本文根据激光光源相干性能,使激光束垂直投射到物面上凸、凹不平及刻线处将产生衍射现象的原理,对物面上这种标记的啦置尺寸进行精确测量。文中介绍了测量装置的三个组成部分:激光扫描系统;信号检测系统和对准观察系统,并着重介绍了对正常反射的光信号和衍射时的零频光信号截止的空间滤波器以及F—Q透镜在测量系统中的作用。最后还分别对影响精度的五种因素作了详细的分析,证明这种方法对测量小尺寸能获得良好的效果
英文摘要:
      
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