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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
用光刻胶复制高精度黑铬度盘工艺
  
DOI:
中文关键词:  
英文关键词:
基金项目:
陆翡翠
中国科学院南京天文仪器厂
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中文摘要:
      本文介绍了用光刻胶复制高精度黑铬度盘的工艺流程。该方法由于度盘采用先铬后胶工艺, 用真空蒸镀黑铬,黑铬线条反射率约5%,线条间隔铝的反射率约为90%,反差高、对比好,改善了光电转换信号的效果,线条牢固度也较好;並由于应用的光刻胶为高分子化学合成的高纯度光敏性物质,故分子结构性能稳定,复制精度损失小,且波动范围窄,成品率较高。文章还提出了在操作中应注意的问題。
英文摘要:
      
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