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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
扫描投影光刻机的光学系统设计
  
DOI:
中文关键词:  
英文关键词:
基金项目:
王之江  王书泽  高瑞昌
中科院上海光机所,中科院上海光机所,中科院上海光机所
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中文摘要:
      本文介绍的扫描投影光刻机光学系统,包括: 两个同心球面镜组成的环带视场投影系统、三个相互垂直平面镜构成的正象反光镜组、全反射式高质量聚光系统和连续变倍观察瞄准系统四部分。对各部分,文中不仅有理论计算和象差分析的描述,同时还给出设计结果和介绍了有关的计算程序。
英文摘要:
      
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