| 为了控制具有长行程的液氮致冷干涉仪的可移动镜面在非常精确的范围内运动,应用了气体润滑滑板作为移动平台。获得了这样的控制:直线轨迹的锥角偏差小于0.6328μm波长的1/5;在平移4.7cm时,转动稳定性在1/10秒之内;在3.5×10~4g~2/HZ的纯噪音振动的环境下工作时,滑板在垂直于驱动轴线方向上的位移小于0.1μm。选用气体润滑的主要原因是它的低摩擦,没有静摩擦,以及能在+25℃至-196℃的温度范围内工作。为了利用致冷剂蒸发而得的气体,轴承间隙做得尽可能地小。轴承刚性是这样设计的,供气压力的变化能引起滑板位置的相应变化,这种特性允许滑板被应用于反馈系统中,从而提供在高振幅、低频率振动下滑板的压力控制。这种滑板用于具有视场补偿的迈克尔逊干涉他,可以改进高分辨率的分光镜的技术状态。 |