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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
发展电子工业用的光学仪器
  
DOI:
中文关键词:  
英文关键词:
基金项目:
祝绍箕
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中文摘要:
      随着电子工业,特别是半导体集成电路的发展,不断地、越来越广泛地要求光学工业为它服务,而且对仪器的精度以及各项技术性能指标的要求也日益提高。这些仪器包括图形初缩、精缩制版,图形发生器,接触式、接近式和投影式光刻机以及测试掩模版或集成电路的各种光学仪器。上述仪器已形成光学仪器中的一个新分支。
英文摘要:
      
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