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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
新型平面度测试仪的设计
  
DOI:
中文关键词:  
英文关键词:
基金项目:
叶祖荣
上海第二光学仪器厂
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中文摘要:
      本文简述了平行光束倾斜入射在两相近表面产生等厚干涉条纹测量平面度的原理,从而设计出一种等厚干涉条纹格值(指等厚干涉条纹所对应的厚度间隔)可变化的新型平面度测试仪。本仪器主要适用于 LSI 和 VLSI 制造技术中测量抛光硅片、掩模版和超微粒照相版的平面度、也可用来测量光学玻璃、金属、陶瓷和 GaAs 等材料制成板的平面度。
英文摘要:
      
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