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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
蒸气入射角与真空镀膜膜层质量的关系
  
DOI:
中文关键词:  
英文关键词:
基金项目:
杨希光
福建省光学技术研究所
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中文摘要:
      本文叙述了使用一般设备和方法真空镀膜时,镜片膜层的牢固度由载盘中心向边缘而减弱,且边缘区其形状规则。作者通过实验,指出该现象是由蒸镀薄膜时蒸气入射角太大造成的,并据此导出凹凸透镜蒸气入射角的计算公式,讨论了与之有关的参数变化关系和减少蒸气入射角的方法,以利提高真空薄膜膜层质量。
英文摘要:
      
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