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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
离子蚀刻法制造的闪耀全息光栅的光学特性
  
DOI:
中文关键词:  
英文关键词:
基金项目:
佐野一雄  青柳克伩  难波进
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中文摘要:
      本文研究了制造高质量闪耀离子蚀刻全息光栅的方法。对于Littrow装置在440nm波段时衍射效率达73%而波阵面质量不降低。闪耀离子蚀刻全息光栅的分辨率和杂散光特性取决于基底材料的选择和离子蚀刻条件,这些特性与普通机械刻划光栅的特性大致相同。
英文摘要:
      
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