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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
应用锯齿形定向光栅的数字位移测量系统
  
DOI:
中文关键词:  
英文关键词:
基金项目:
车仁生
哈尔滨工业大学
摘要点击次数: 2006
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中文摘要:
      本文介绍了已经用于激光球面干涉仪中的用锯齿形衍射定向光栅作检测元件的高精度数字位移测量系统,系统用电子运算器修正光栅常数的办法获得了0.1μm的分辨率和在20mm量限内优于0.2μm的精度,这一系统的主要优点是精度高,结构简单,调正方便,缺点是对机械导轨精度要求较高,因此适用于精度高,但量程不太大(例如≤100mm)的位移测量系统。
英文摘要:
      
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