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| 刻划计量光栅累积误差的修正 |
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| 周文龙 顾其根 |
| 上海光学仪器研究所,上海光学仪器研究所 |
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| 中文摘要: |
| 光栅刻划机在精密调整后,并在20℃±0.02的严格恒温控制下,经过五十八小时工作,刻制了每毫米100槽线纹长20毫米全长500毫米的铬线长度计量光栅。由于刻划机本身的精度和温度误差的影响,光栅尺存在着累积误差。根据上海计量局激光光波比长仪的检定,得到了误差数据。我们按照误差数据所描绘的曲线修正刻划机械,使长度刻划计量光栅的精度大大提高。一、长度计量光栅累积误差的检定方法与误差产生的原因 |
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