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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
圆光栅盘刻划
  
DOI:
中文关键词:  
英文关键词:
基金项目:
曹向群
浙江大学光仪系
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中文摘要:
      (一)引言随着社会主义建设事业的发展,精密加工、精密测量、自动控制等都朝着数控、数显方向发展,作为对数控、数显的关键元件之一的计量光栅的需求也日趋迫切,国外不少单位用专门机床来制造计量光栅,西德海顿汉(HEIDENHAIN)甚至采用流水线来生产光栅,就是为了满足对光栅的需求。我国对于计量光栅的制造也较重视,目前主要采用刻划法、投影曝光法和接触复制法等制造。投影曝光法制造光栅有其优越性,由于采用一块模板接拍,因而效率高,同时
英文摘要:
      
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