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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主    编:
  • 庄松林
  • 地    址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单    价:
  • 15.00
  • 定    价:
  • 90.00
薄膜应力分析及一些测量结果
Stress analysis of thin films and some testing results
  修订日期:2000-08-30
DOI:
中文关键词:  热应力  形变  沉积  老化
英文关键词:
基金项目:
范瑞瑛  范正修
范瑞瑛(中国科学院上海光学精密机械研究所上海201800)
;范正修(中国科学院上海光学精密机械研究所上海201800)
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中文摘要:
      论述了薄膜应力在强激光薄膜应用中的重要性,分析了应力的形成原因及沉积参数、老化条件的关系,给出了应力的简单测试方法及部分结果.
英文摘要:
      
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