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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主  编:
  • 庄松林
  • 地  址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单  价:
  • 15.00
  • 定  价:
  • 90.00
透明台阶的白光干涉测量方法研究
Study on the measurement of transparent step by white-light interferometer
投稿时间:2013-05-13  
DOI:10.3969/j.issn.1005-5630.2013.06.015
中文关键词:  垂直扫描干涉  零光程差  透明台阶
英文关键词:vertical scanning interferometer  zero optical path difference  transparent step
基金项目:
作者单位
耿东锋 中国空空导弹研究院, 河南 洛阳 471009
红外探测器技术航空科技重点实验室, 河南 洛阳 471009 
何英杰 中国空空导弹研究院, 河南 洛阳 471009 
苏宏毅 中国空空导弹研究院, 河南 洛阳 471009
红外探测器技术航空科技重点实验室, 河南 洛阳 471009 
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中文摘要:
      Veeco NT3300表面轮廓仪是基于白光干涉原理的一种非接触测量设备,它的垂直扫描干涉模式可以实现对物体表面形貌的非接触测量。在利用垂直扫描干涉模式对光刻胶形成的透明台阶测量时,设置不同的测量参数会导致较大的测量误差,通过对垂直扫描干涉模式的原理和测量系统的分析,找到了误差产生的原因,并通过合理的测量参数的设置,实现了对透明台阶的准确测量,满足了应用需求。
英文摘要:
      As non-contact optical profilers, Veeco NT3300 works on the principle of white-light interference, the object's surface is measured without contact by its vertical scanning interferometer model. During the measurement of steps which are transparent for white-light, significant measurement offset is always observed because of different scanning parameters setting. Therefore, the principle of vertical scanning interferometer model and the measuring systems is analyzed and the factors leading to offset are also found. At last, the precise measurement results for transparent steps are obtained to meet application requirements.
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