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期刊信息
  • 主管单位:
  • 中国科学技术协会
  • 主办单位:
  • 中国仪器仪表学会、上海光学仪器研究所、中国光学学会工程光学专业委员会
  • 主    编:
  • 庄松林
  • 地    址:
  • 上海市军工路516号上海理工大学《光学仪器》编辑部
  • 邮政编码:
  • 200093
  • 联系电话:
  • 021-55270110
  • 电子邮件:
  • gxyq@usst.edu.cn
  • 国际标准刊号:
  • 1005-5630
  • 国内统一刊号:
  • 31-1504/TH
  • 邮发代号:
  • 单    价:
  • 15.00
  • 定    价:
  • 90.00
利用光学系统色偏移进行表面粗糙度检测的方法及结构分析
The Method for Measuring Surface Roughness by Chromatic Focal Shift of Optical System and Its Structure Analysis
投稿时间:2010-08-05  
DOI:
中文关键词:  光学设计,色偏移,粗糙度检测
英文关键词:optical design, chromatic focal shift, surface roughness measurement
基金项目:
作者单位
吴宇昊 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院上海 200093 
李湘宁 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院上海 200093 
孙晶露 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院上海 200093 
孙惠 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院上海 200093 
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中文摘要:
      利用光学方法对表面粗糙度进行检测以其非接触、高精度、无损伤、测量速度快等特点得到了广泛应用。本文介绍了一种利用多色光的轴向色焦点偏移进行表面粗糙度测量的方法,该方法基于共聚焦显微系统的基本思想,文章阐述了该方法的基本原理,并设计了一组光学系统对方法进行分析验证。
英文摘要:
      Measurement of surface roughness with optical methods is widely used now due to its contactless, high precision, non-damage, high measuring speed, etc. This paper introduces a new non-contact method based on the confocal optical system to measure the surface roughness, which uses the principle of chromatic focal shift to measure surface roughness. This paper describes the principle of this new method and designs an optical system to analyze and confirm the feasibility of this method
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